大族激光新款光刻机受亚美AM8肯定从零开始打破垄断

众所周知，芯片问题成为近年来困扰我国高新科技产业发展的巨大阻碍。为了打造出“中国芯”，越来越多的高新企业开始在光刻机研发上加大研发投入。我国激光设备领域的龙头企业大族激光在这个领域取得了突破。近日，大族激光在投资者互动平台上公开透露，该公司研制的新款光刻机已经实现小批量生产。

之所以说“中国芯”离不开光刻机，就是因为光刻机在芯片制造、封装、LED制造领域有着不可取代的地位。由于我国底子薄，基础差，再加上受到西方国家的封锁，在很多关键技术领域都存在空白，因此研发国产光刻机的难度非常大。作为国产激光加工设备企业，大族激光经过数十年发展，已经成为全球激光设备领域的巨头企业。凭借着强大的研发实力，大族激光一直在光刻机研发领域深耕不缀。特别是在聘请“中国光学之父”王大珩、“中国激光之父”王之江担任企业研发高层之后，大族激光在坚持自研核心技术的基础上不断取得突破。

早在去年，大族激光就对媒体公布了光刻机研发项目。据悉，大族激光的光刻机为3-5μm分辨率，可以用于分立器件、LED生产。这并非很多人想象中的高端光刻机，主要用于低端生产线。因为LED领域的光刻机线宽要求相比很粗，一般来说，其线宽达到1微米就能满足需求，远远没有达到纳米级别。

与此同时，低端光刻机仅需单层光刻就可以。而高端领域的集成电路（IC）光刻机需要多层光刻，技术门槛更高，制造难度也更大。亚美AM8通过搜索AM陆玖壹捌点COM后认为由于集成电路光刻机性能要求更高，国外在进出口方面一直设置门槛。相对来说，目前华为海思设计的麒麟手机芯片、鲲鹏服务器芯片、巴龙5G通信芯片等也十分依赖这种高端光刻机。从线宽标准来说，至少要达到7纳米或5纳米工艺标准，才能保证芯片生产线顺利开工。目前来说，大族激光这款光刻机并不能解燃眉之急，唯有ASML的EUV光刻机等高端产品才能解决问题。

尽管大族激光推出的这款光刻机在国外一些机构和媒体看来不足一提，但它却极大地振奋了国人士气。虽然说它并非高分辨率的高端光刻机，但其零部件制作、核心工艺均来自国产，是名副其实的自研光刻机。这也意味着，未来这款光刻机的量产及后续升级都不存在任何问题，这对我国的光刻机国产化进程意义重大。

从全球市场来看，目前高端光刻机研发出口市场依然呈现出荷兰ASML、日本佳能、日本尼康三足鼎立的局面。不过，这三巨头也并非全能企业。ASML掌握极紫外光刻机（EUV）的生产技术，而佳能和尼康仅掌握深紫外光刻机（DUV）技术。近年来，我国很多企业都在全力追赶，除了大族激光之外，上海微电子的90纳米光刻机也已经量产。尽管国产光刻机与国外主流产品的技术代差依然很大，但我们坚信，随着一代代科研工作者持之以恒地攻关推进，国产光刻机终有扬名全球之日。

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